IONPURE VNX 55-E高流量CEDIモジュール18 MΩ-cm超純水、マイクロ電子高純水処理システム用

IONPURE VNX 55-Eは高流量連続電気脱イオン（CEDI）モジュールであり、半導体と超純水システムに12.5 m³/h（55 gpm）の公称製品水流量を提供する。マイクロ電子洗浄水、ウエハ工場UPW回路、発電ボイラー給水に適している。

高流量CEDIモジュールとは？

高流量CEDIモジュールは電気化学水浄化装置であり、逆浸透（RO）浸透物中のイオン化とイオン化可能汚染物を連続的に除去でき、化学再生なしで超純水を生産できる。従来の混合床イオン交換とは異なり、CEDIモジュールはイオン交換膜、イオン交換樹脂、直流電位を用いてイオン移動を駆動し、水をH+とOHイオンに分解し、その場樹脂再生に用いる。これにより、酸/アルカリ処理、中和タンク、再生停止時間が解消される。

VNX 55-EはIONPURE VNXシリーズ中の最高公称流量を表し、各モジュールの定格流量は12.5 m³/hである。複数のVNX 55−Eモジュールは、228 m³/h（1000 gpm）を超えるシステムを構築するためにマニホールドを並列化することができる。

主な仕様

公称製品流量：モジュールあたり12.5 m³/h（55 gpm）

製品水抵抗率：≥18 MΩ・cm（保証）

シリカ（SiO₂)除去率：≥95%

ホウ素除去率：≥95%

ナトリウム（Na⁺)除去率：≥99.8%

塩化物（Cl⁻)除去率：≥99.8%

水回収率：98.5%から99%

動作直流電圧範囲：0～300 V

動作直流電流範囲：2.0～13.2 A

給水伝導率：amp ;lt ; 10µS/cm（二次逆浸透または脱イオン水が必要）

給水温度範囲：20°Cから45°C

給水圧力範囲：1.4～7バール（20～100ポンド/平方インチ）

lt；0.02 ppm

給水総硬度：amp ;lt ; 0.1 ppm（CaCOによる₃)

給水活性シリカ：amp ;lt；0.2 ppm

最高周囲温度：≤45°C

設置環境：室内、直射日光を避ける

モジュール直径：44.45 cm

モジュール幅：50.8 cm

モジュールの高さ：50.8 cm

モジュール長：213.3 cm

接続：ポートガスケット設計により、50 mm突合せ溶接ポリプロピレン（PP）コネクタを含む

配線ボックス：プリ配線ボックスを含む

認証：CEマーク、ISO 9001とISO 14001認証による品質管理システム製造

典型的な製品抵抗率性能：17.5〜18 MΩ・cm

技術的な特長

薄い電池濃縮室は塩水注入を排除した。独自の薄い電池設計は、外部塩水供給や濃縮物再循環ポンプを必要とせずに、拒絶されたイオンを濃縮し、システム配管を簡略化し、補助設備の数を削減した。

スルーホールガスケットシールは回路間の漏れを防止することができる。各接続点には、製品、濃縮液、電極流を分離するための貫通孔圧縮ガスケットが使用されています。従来のプレートフレーム設計によく見られるOリングスロットの故障モードを排除し、連続24/7ウェハ工場運営における計画外停止リスクを低減した。

集積流量分配は電流効率を最適化した。モジュールの内部流路と樹脂充填装置は、膜活性領域全体にわたって均一な電流密度を維持する。これにより、局所的なホットスポットによる膜寿命の低下を防止し、98.5%〜99%の水回収率の範囲内でシリカとホウ素の阻止性能を保証することができる。

電気化学再生はモジュール内で連続的に発生し、酸、アルカリまたは中和化学物質は必要ありません。一般的な購入問題の1つは、CEDIモジュールが樹脂を定期的に交換したり、化学洗浄したりする必要があるかどうかです。IONPURE VNX 55-Eモジュールは樹脂を交換することなく長年稼動することができる、洗浄頻度は、給水が規定の最低入口品質に適合しているかどうかに完全に依存する。

アプリケーション

半導体ウエハ工場の超純水研磨：二次逆浸透浸透液を受け取り、18 MΩ・cmまで研磨し、フォトリソグラフィ、ウェットエッチング、CMP浸漬後の洗浄に用いる。シリカとホウ素の除去率≧95%は、10 nm以下のノードプロセスにおける微小回路欠陥の形成を防止することができる。

フラットパネルディスプレイ（FPD）による洗浄水の製造：LCDとOLED基板の洗浄に一貫した高純度洗浄水を提供する。各モジュールの12.5 m³/hの流速は、8.5世代と10.5世代のウェハ工場のUPW工場にコンパクトなシステム敷地面積を提供しています。

発電高圧ボイラ給水：逆浸透浸透浸透物を0.1µS/cm以下の電気伝導率に研磨し、循環ガスタービンと超臨界石炭火力発電所を組み合わせた高圧ボイラ補給に使用する。ナトリウム除去率≧99.8%はタービン翼の腐食とシリカスケールを防止することができる。

製薬精製水（PW）と注射用水（WFI）の前処理：蒸留または最終限外ろ過上流の前研磨段階として。

大規模なUPW中央工場の拡張：複数並列接続されたVNX 55-Eモジュールはキャンパス内の配電回路のために228 m³/hを超える水を生産する。内蔵配線ボックスと50 mm PP溶接コネクタにより、設置中の現場配管労働力と電気終端時間が削減されます。

選択ガイド

適用可能なアプリケーション：

大型超純水システムでは、各研磨ユニット≧12.5 m³/hが要求され、供給材料の電気伝導率は一致している、逆浸透上流lt、10µS/cmまで

危険化学品の処理を除去する施設を求めている：バルク酸やアルカリの貯蔵がなく、中和システムがなく、廃塩水排出許可証の負担がない

室内制御室または水処理建築、環境温度は45°C以下に維持し、モジュールに直射日光がない

使用することは推奨されません：

給水伝導率が10µS/cmを超えるか、硬度amp ;＞0.1 ppmであり、アップグレードの前処理は必要ありません。入口規格を超えると製品の抵抗率が低下し、精鉱室内のスケールが加速し、イオン交換膜が永久に損傷する可能性がある。

フルフロー条件下で製品の水抵抗率が10 MΩ・cm未満の応用が要求される。この場合、IONPURE VNX−CDITまたはIP−LXMシリーズの小さなCEDIモジュールは、より適切な単位トラフィック資本コストを提供することができる。

風雨防止カバーのない屋外取付。VNX 55-Eは室内使用に適している、紫外線曝露と凍結リスク環境には温度制御可能な避難所が必要である。

よくある質問

IONPURE VNX 55-Eの敷地面積と設置サイズはどのくらいですか。

モジュール本体の長さは213.3 cm、幅は50.8 cm、高さは50.8 cm。直径は44.45 cm。50 mmの突合せ溶接PP接続金具と前側配線箱通路に追加の隙間を空ける。

2.VNX 55-Eの典型的な納期または納期はどのくらいですか。

工場の注文確認から始まり、標準的な納期サイクルは8～12週間です。緊急プロジェクトスケジュールの場合、製造時間を短縮することで、納期を6週間に短縮できます。

3.信頼性の高い操作VNX 55-Eにはどのような給水品質が必要ですか。

lt ; 10µS/cm、温度20-45°C、圧力1.4-7 bar、残留塩素ガス、< ; 0.02 ppm、硬度amp ;lt ; 0.1 ppm（CaCOで計算）₃,及び反応性シリコン増幅器、<；0.2 ppm。これらの制限以外の操作では、製品の耐水性が低下し、保証範囲が無効になる可能性があります。

4.IONPURE VNX 55-E CEDIモジュールの価格はいくらですか。価格はいくらですか。

VNX 55-Eの各モジュールの価格は通常、システム構成量と地域提供条件に応じて65000～85000ドルです。価格は為替レート、関税、工場調整によって変動する。現在の定価と運賃の正確な見積もりについては、北京众平科技に直接連絡してください。

5.VNX 55-Eを購入する際にどのような支払条件がありますか。

合格した工業顧客に対して、北京众平科技は工場検収試験マイルストーンに関する分割払いを提供する。

6.VNX 55-Eはデバッグ中や低需要時など、シャント状態で実行できますか。

給水流量を公称定格の60%〜110%の範囲に維持し、電圧を調整して目標電流密度を維持し、最適なイオン除去を実現する。

7.VNX 55-Eの水回収率はどのくらいで、精鉱はどのように処理したのですか。

このモジュールは98.5%から99%の回収率を実現した。残りの1%〜1.5%の濃縮液流は、化学物質を添加せずに濃縮された供給塩のみを含むため、逆浸透供給タンクに戻るか、排出することができる。

8.VNX 55-Eは既存のPLCベースのモニタリングとデータ収集システムと互換性がありますか？

ユーザは、工場SCADAまたはPLCの4−20 mAまたは0−10 VDCアナログ信号によって制御される整流器を介して外部直流電源（定格0−300 VDC、2.0−13.2 A）を提供する。

9.VNX 55-Eにはどのような保証条件がありますか。延長サービス契約はありますか。

デバッグ日から12ヶ月、または出荷日から18ヶ月の標準保証期間を提供します。先着順です。北京众平科技は年度性能監査と膜完全性試験を含む延長保証計画を提供する。

10.VNX 55-Eモジュールの交換または拡張はどのように既存のマニホールドと油圧整合を行いますか？

すべてのVNX 55-Eモジュールは同じ油圧抵抗とポート形状を共有している。新しいモジュールは、リバランスを必要とせずに既存のパラレルマニホールドに追加できます。注文時にシステム設計プロセスと列車ごとの電流負荷を提供し、北京众平科学技術はマニホールド接続図と電気負荷表を提供する。