定格定格製品の流量は12.5 m³/h（55 gpm）、抵抗率は18 mΩ・cm、アンペア、> ; 99%のシリカとホウ素の除去率、酸/アルカリ化学物質なしで運転し、95-97.5%の水回収率を実現した。

水処理用のエディモジュールとは？

EDIモジュールは、イオン交換膜、混合床樹脂及び直流電位を用いて逆浸透性浸透物からイオン化可能汚染物を除去する電気化学水浄化装置である。従来の混合床脱イオンの代わりに、化学再生の必要性を排除しています。

連続電気脱イオンモジュールは流量によって分類される：小型実験室ユニット（通常< ; 1 m³/h）、中型工業ユニット及び中央工場応用のための高流量モジュール。VNX 55−EXは高流量クラスに属し、マイクロエレクトロニクス工場の大規模な超純水生産のために設計されており、これらの工場では、一致する18 MΩ・cm水質とシリカ／ホウ素制御は交渉不可能である。

主な仕様

公称製品流量：12.5 m³/h（55 gpm）

製品水抵抗率：18 MΩ・cm（保証）

シリカ（SiO₂)取り外し：amp ;99%より大きい

ホウ素除去：amp ;99%より大きい

ナトリウム（Na⁺)取り外し：amp ;＞99.9%

塩化物（Cl⁻)取り外し：amp ;＞99.9%

水回収率：95-97.5%

動作電圧範囲：0-300 VDC

動作電流範囲：2.0～13.2 A

最大給水導電率：amp ;lt；10µS/cm

給水圧力範囲：2.1～7バール（30～100ポンド/平方インチ）

給水温度範囲：20～45°C（68～113°F）

最高周囲温度：45°C（113°F）

残留遊離塩素耐性：amp ;lt ; 0.02 ppm（Clで計算する₂)

きゅうすいこうど₃):amp；lt；0.1 ppm

給水シリカ（SiO₂):amp；lt；0.5 ppm

モジュールサイズ（直径×長さ）：44.45 cm×213.3 cm（17.5インチ×84インチ）

接続タイプ：50 mm突合せ溶接ポリプロピレン（PP）フランジ接続方法：1-2-3-2-3-1-2-1-2-1-2-1-2-3-2-1-2-3-2-3-2-3-2-3

認証：CEマーク、ISO 9001：2015及びISO 14001：2015（メーカー施設証明書）

濃縮液と電極室密封：貫通孔ガスケット設計

技術的な特長

無化学物質操作は再生インフラを排除した。VNX 55−EXは、直流電源とフィルム駆動のイオン移動を用いて、その混合床樹脂を連続再生する。1つの一般的な問題は、モジュールが酸またはアルカリ注入を必要とするかどうかである。それは必要ではない。従来の混合床研磨機と比較して、中和タンク、化学品貯蔵または廃棄物処理システムが不要であり、それによって施設の敷地面積と操作の複雑性が減少した。

95-97.5%の回収率は排水排出を最大限に削減した。濃縮液と電極流を再循環することで、少量の排出物を下水道に排出するだけで、高い水回収率を実現することができる。100 m³/h逆浸透浸透物を処理する超純水工場では、これは2.5-5 m³/hの阻止率に相当し、定期的な全ロット再生が必要なイオン交換システムに比べて、給水需要と処理コストを大幅に削減した。

貫通孔ガスケットシールは外部漏れを防止することができる。各濃縮通路上の二重Oリングと貫通孔ガスケット技術は、時間が経つにつれて製品の水質が低下する区画間漏れを解消する。この設計は、マイクロ電子研磨回路における18 MΩ・cmの抵抗率を維持するために重要である。

集積式電気配線ボックスは現場の配線を簡略化した。各モジュールにはあらかじめ接続された配線ボックスが含まれており、工場に設置された電源コードが付いており、設置労働力を減少させ、電極極性配線ミスを防止した。

強化されたシリカ及びホウ素除去目標マイクロエレクトロニクス仕様。保証amp ;シリコンとホウ素の除去率はいずれも99%を超え、典型的な混合床性能を超え、半導体製造においてウェハ欠陥を引き起こす2つの最も困難な弱イオン化物質を解決した。

アプリケーション

半導体ウエハ製造の最終研磨：ウエハ洗浄と浸漬リソグラフィ用の18 MΩ・cm超純水を製造する。Theamp；> ; 99%のホウ素除去はp型ドーピング汚染を防止し、シリカ除去はシリコン堆積物から光学素子を保護する。

マイクロ電子とフラットパネルディスプレイの製造：TFT-LCD、OLEDとマイクロLED生産ラインに高純度プロセス用水を提供し、これらの生産ラインのイオン残留物は兆分の1以下に維持しなければならない。

発電とボイラー給水補給：共同循環発電所の混合床イオン交換を解消し、高圧ボイラーに0.1µS/cm未満の電気伝導率を有する給水を提供し、同時に危険化学品の処理を回避した。

製薬精製水と注射用水の前処理：最終的な薬局方用水は蒸留または逆浸透と研磨が必要であるが、VNX 55-EXは連続的な脱イオン段階として、水質を維持することができる、USPampによると、電気伝導率は1.3µS/cm未満、lt；645amp；

ハイテク工業園区の中央超純水工場：複数のVNX 55-EXモジュールの並列配置は単一研磨水システムから228 m³/h（1000 gpm）18 mΩ・cmを超える水を輸送し、分布式使用点研磨機に比べ、1立方メートル当たりの水コストを削減した。

選択ガイド

適用可能なアプリケーション：

高純水の需要は5 m³/hから始まり、50 m³/h以上でスケールを形成し、その中の1つの12.5 m³/hのモジュールまたは複数の化学物質を使用しない混合床容器の代わりに結合する

入水逆浸透浸透質量は常に≦10µS/cm、遊離塩素、lt；0.02 ppm、温度は20-45°Cの間に保持する——典型的な二重逆浸透前処理

危険を除去する酸性/アルカリ性化学品、中和システム及び樹脂交換は安全又はコスト優先事項である項目

検証が必要なシリコン増幅器のマイクロ電子と半導体施設、lt、0.5 ppbとホウ酸アミド、製品水中lt ; 50 ppt

使用することは推奨されません：

給水伝導率は10µS／cmを超える（例えば、高TDSマイクロ塩水上で直接片道逆浸透を行う）。上流に二次逆浸透または軟化器/脱気器を設置するか、Ionpure VNX 30-CDITなどのより高供給導電性のために定格されたCEDIモジュールを選択します。

水温は長時間15℃未満であった。低温では水の粘度が増加し、イオン移動度が低下し、製品の抵抗率が保証された18 MΩ・cm以下に低下する。冷間供給の場合、施設加熱水を使用するプレート式熱交換器は逆浸透浸透物をアンペアに予熱しなければならない。>；20°C。

単一モジュールが必要な流量を超えている非常に小規模な研磨。20%未満の調整量で12.5 m³/hのモジュールを実行すると、流量分布のばらつきや局所的な樹脂の枯渇を引き起こす可能性があります。2.5 m³/h以下の流量については、LXやIP-LXMシリーズなどの小さなIonpureモジュールを考慮してください。

よくある質問

1.VNX 55-EXはどんな抵抗率や水質を保証しますか？

給水が必要な入口条件を満たす場合、モジュールは18 MΩ・cmの製品水抵抗率を保証する。定格流量における典型的な測定性能は17.5〜18.2 MΩ・cmであり、シリカは0.5 ppb未満、ホウ素は50 ppb未満である。

2.VNX 55-EX CEDIモジュールの予想寿命はどのくらいですか。

このモジュールの設計は通常の運転条件下で、給水品質が一致している場合、使用寿命は少なくとも7年である。多くの装置は工場のリニューアルが必要になるまでに8 ~ 10年かかる。寿命の終端を予測するために、電圧と製品の抵抗率の性能傾向分析を定期的に行うことを提案します。

3.VNX 55-EXの価格はいくらで、価格範囲はいくらですか。

VNX 55-EXの各モジュールの価格は、プロジェクトの規模、構成、地域分布に応じて、通常28,000～45,000ドルです。価格は為替レート、関税、工場調整によって変動する。正確な見積もりと納品条件が必要な場合は、北京众平科技に直接連絡してください。

4.全額購入する前に、試用、リース、またはパイロットテストのスケジュールを提供しますか。

デルは、お客様のオンサイトで、1つのVNX 55-EXモジュールを備えた事前構成スキッドを使用したパイロットテストをスケジュールしています。これは資本承諾の前に、実際の給水条件下での製品の水質と回収率を実証した。北京众平科学技術手配中試に連絡する。

5.VNX 55-EXの納期と納期はどのくらいですか。

標準出荷時の納期は8～10週間です。緊急のプロジェクトスケジュールについては、迅速な納品が可能です。地域の在庫を持つ認定ディストリビュータは、搬送時間を4週間に短縮できます。

6.どのような支払い方法と融資の選択がありますか。

多単位資本プロジェクトに対して、北京众平科学技術はマイルストーンに基づく支払計画を構築することができる。

7.VNX 55-EXの前にどのような前処理または給水品質が必要ですか。

給水は導電性を有する逆浸透水でなければならない。lt ; 10µS/cm、温度20-45°C、遊離塩素、< ; 0.02 ppm、硬度amp ;0.5 ppm未満。紫外線脱塩素と熱交換を伴う2チャネル逆浸透が標準的な前処理構成である。

8.VNX 55-EXは間欠運転ができますか、それとも熱待機モードですか。

生物汚染やイオンの枯渇を防ぐために低トリクル電圧（通常0.5〜1 A）を維持する限り、モジュールは72時間にわたって水の流れがない状態で再循環待機状態にすることができる。長時間停止から起動するには消毒洗浄シーケンスが必要です。

9.VNX 55-EXの継続的な運用コストまたは消耗品はいくらですか？

消耗品の代わりに酸、アルカリ、樹脂はありません。唯一の運営コストは直流電力消費であり、通常は製品水1立方メートル当たり0.1-0.3キロワット時であり、少量の廃水流量を加える。日常的なメンテナンスは、シールと電気接続の年間検査に限られています。

10.インストールとデバッグのサポートを提供していますか。どのような内容が含まれていますか。

デルは、各サイトの最初のモジュールインストールに対して、工場監督のデバッグと起動サポートを提供しています。北京众平科技は年度健康診断と現場故障排除をカバーする拡張サービス協定を提供している。